прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; прилад фотоелектричний, прибор фотоэлектрический ; технологія виробництва, технология производства

Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического, электрохимического, фотохимического, фотоэлектрохимического и плазмохимического травления и полирования многокристалличесих подложек их кремния, германия и соединений AIIIBV, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитакиального травления полупроводников, препарироавния крисслалов и эпитаксиальных структур.

• ББК науковий // Технология производства полупроводниковых приборов. Производство полупроводниковых фотоэлектрических приборов