Зведений каталог бібліотек Києва
З844Э192Эдельман, Феликс Структура компонентов БИС [Текст] : монография / АН СССР, Сибиркое отделение, Институт физики полупроводников; отв. ред.: Свиташев К. К. — Новосибирск : Наука, 1980. — 256 с.
- Ключові слова:
- Анотація:
В книге рассмотрены труктурные особенности компонентов БИС (больших интегральных схем) - основы элементной базы вычислительной техники: пленок двуокиси кремния, нитрида кремния, полукристиллического кремния.
- Теми документа