схема інтегральна, схема интегральная ; технологія виробництва, технология производства
В книге рассматриваются физико-химические основы типовых процессов производства интегральных микросхем: термовакуумного испарения, катодного распыления, химических и электрохимических методов получения слоев, диффузии, эпитаксии, ионного внедрения и фотолитографии. Описываются технологии изготовления интегральных гибридных пленочных и интегральных полупроводниковых микросхем, а также применяемое оборудование.
Книга также может быть полезна инженерам, специализирующимся в области производства радиоэлектронной аппаратуры.
