Зведений каталог бібліотек Києва

 

Казанский, Н. Л.
    Метод оценки остаточной концентрации органических загрязнений на поверхности диоксида кремния [Текст] / Н.Л. Казанский, А.И. Колпаков, В.А. Колпаков, С.В. Кричевский // Матеріали VIII міжнародної науково-технічної конференції "ABІА-2007", 25-27 квітня 2007 року / Бабак В.П., гол. оргком.; Національний авіаційний університет. — Київ, 2007. — С. 14.5-14.8.


- Ключові слова:

очищення, очистка, cleaning, purifying ; прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; система вакуумна, система вакуумная ; кремній, кремний

- Анотація:

Приведены результаты моделирования очистки поверхности диэлектрических подложек низкотемпературной плазмой высоковольтного газового разряда от органических загрязнений.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • ББК науковий // Опорные диоды (полупроводниковые стабилитроны): кремниевые



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету   Перейти на сайт