обладнання, оборудование, equipment ; прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; напівпровідник, полупроводник, semiconductor, transistor

Приведены основные сведения о технологическом процессе производства полупроводниковых приборов, описаны устройство, принцип действия, правила эксплуатации и наладки технологического оборудования, а также даны его технические характеристики. Издание дополнено описанием нового оборудования, предназначенного для обработки полупроводниковых материалов, сплавления, диффузии, элионной технологии, фотолитографии, осаждения пленок, изготовления корпусов, сборки, герметизации, климатических и механических испытаний.

• ББК науковий // Напівпровідникові прилади