|
-
Ключові слова:
технологія інформаційна, технология информационная, IT, ИТ ; мікросхема інтегральна, микросхема интегральная ; мережі Петрі, сети Петри ; схема інтегральна, схема интегральная ; мікроелектроніка, микроэлектроника ; пристрій електротехнічний, устройство электротехническое ; автореферат (текст) ; Техніка, с.г., медицина
-
Анотація:
Розроблено архітектуру ІТ аналізу та синтезу МЕМС, яка використовує побудований програмно-технічний засіб для багаторівневого розроблення, грунтується на використанні базових структур і елементів та використовує розроблені інформаційні моделі і дає змогу підвищити рівень автоматизації процедур аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем. Побудовані тривимірні моделі технологічних процесів виготовлення МЕМС, які дають змогу дослідити вплив технологічних параметрів на вихідні параметри інтегрального пристрою.
Основні результати праці знайшли промислове впровадження при аналізі та синтезу нових типів МЕМС з покращеними технічними характеристиками.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Автоматизация проектирования микрорадиоэлектронной аппаратуры, микроэлектроники, микросхемотехники
|
