Рассматриваются вопросы организации контроля технологического процесса изготовления БИС. Дается анализ тестовых структур и тестовых кристаллов, применяемых при проектировании и в производстве БИС. Анализируются принципы построения автоматизированных систем обработки результатов тестового контроля, приводятся примеры их практического использования.
Для инженерно-технических работников, занимающихся разработкой, изготовлением и контролем изделий электронной техники.
