кристалізація, кристаллизация, crystallization ; діелектрик, диэлектрик,dielectric ; наноматеріал, наноматериал ; оптоелектроніка, оптоэлектроника ; електроніка твердотільна, электроника твердотельная ; автореферат (текст) ; кремній, кремний ; плівка, пленка ; Техніка, с.г., медицина

Робота присвячена розробці технології отримання тонких плівок нанокристалічного кремнію, легованого європієм та ітрієм, а також гетеропереходів на їх основі для оптоелектроніки.

Було проведено моделювання впливу нанокристалів та домішок рідкоземельних металів на зонну будову та електропровідність матеріалу, а також показано їх вплив на фоточутливі характеристики фотоприймачів, що забезпечило теоретичне підгрунтя у пошуку оптимальних технологічних режимів.

За допомогою структурних та хімічних методів аналізу метеріалу встановлено зв'язок наноструктури та хімічного складу плівок з технологічними параметрами синтезу.

Встановлено зростання електропровідності, фото- та УФ-чутливості кремнієвої плівки при введенні до її складу домішків рідкоземельних металів.

• ББК науковий // Электроизолирующие радиотехнические материалы и изделия. Диэлектрики