-
Ключові слова:
прилад оптоелектронний, прибор оптоэлектронный ; датчик оптичний, датчик оптический ; пристрій оптикоелектронний, устройство оптикоэлектронное ; прилад оптико-електронний, прибор оптико-электронный
-
Анотація:
У статті розглянуто пристрої для контролю геометричних розмірів виробів шляхом відповідної обробки їх дифракційного зображення складною фотоелектричною вимірювальною системою, або оптичною системою прострової фільтрації. Дифракційні методи контролю якості виготовлення періодичних структур є найбільш перспективними.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
ББК науковий // Оптоелектронні ЕОМ та пристрої. Оптична та голографічна обробка інформації
|