обробка матеріалу, обработка материала ; прилад електронний, прибор электронный ; техніка електронна, техника электронная ; матеріал напівпровідниковий, материал полупроводниковый, semiconducting material ; технологія плазмова, технология плазменная ; метод фізичний, метод физический ; монокристал, монокристалл ; Техніка, с.г., медицина

Описано основні технологічні процеси електронної техніки: вирощування монокристалів, механічну, фізико-хімічну обробку матеріалів та напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки. Описані технологія фото-, електронно-, рентгенолітографії, тонких, товстих плівок, створення наноструктур, а також монтаж та герметизація. Висвітлено методи отримання вакууму та контролю в технології електронної техніки.

Рекомендований для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом "Електроніка".

• ББК науковий // Учебные и практические издания по технологии электронных приборов