Зведений каталог бібліотек Києва
Синеглазов, В. М. Автоматизированое проектирование чистых помещений для микроэлектронной промышленности [Текст] / В.М. Синеглазов, В.Н. Федосенко // Електроніка та системи управління / МОН МС України, Національний авіаційний університет; Синєглазов В.М., ред. — Київ, 2012. — С. 139-144.
- Ключові слова:
- Анотація:
Предложена структура системы автоматизированного проектирования чистых помещений для микроэлектронной промышленности, определен перечень систем контроля, обеспечивающих выполнение нормативных требований, предъявляемых к чистому помещению.
- Є складовою частиною документів:
- Теми документа