Розглянуто інтерферометричні методи аналізу поверхні. Запропоновано автоматичний метод безконтактного тривимірного профілювання поверхні.
Рассмотрены интерферометрические методы анализа поверхности. Предложен автоматический метод бесконтактного трехмерного профилирования поверхности.
Review of interferometric methods of surface analysis. Automatic method of surface 3D profiling is proposed.
