Розглянуто диференціально-фазовий метод та метод динамічного фокусування, які використовуютьcя у приладах: диференціально-фазовий лазерний сканувальний профілограф-профілометр (ДФЛСПП) та мікроскоп "МІКРОСКАН" відповідно. Проведено експериментальне порівняння визначення тривимірного мікро- та нано-геометричного стану поверхні та стандартизованих параметрів шорсткості повер-хонь за допомогою цих методів.
Рассмотрены дифференциально-фазовый метод и метод динамической фокусировки, которые используются в приборах: дифференциально-фазовый лазерный сканирующий профилограф-профилометр (ДФЛСПП) и микроскоп "МИКРОСКАН" соответственно. Проведено экспериментальное сравнение определения трехмерного микро-и нано-геометрического состояния поверхности и стандартизированных параметров шероховатости поверхностей с помощью этих методов.
In this work is considered differential-phase method and method of autofocusing, which are used on differential-phase laser scanning profilograph-profilometer (DFLSPP) and microscope "MICROSCAN" correspondently. Also is considered experimental comparison of defining of 3D micro- and nano-geometrical surface conditions and standardized roughness parameters of surface with the help of those methods.
