У цій статті пропонується інформація про метод відмінної фази і метод з автоматичним фокусуванням, які використовуються на лазері відмінної фази, хто розглядає профілограф-профілометр (ДЕДАЛ-ЛСПП) і мікроскоп "MICROSCAN" відповідним чином. Також вважається експериментальним порівняння визначення тривимірних мікро- і наногеометричних поверхневих умов і стандартизовані параметри брутальності поверхні за допомогою таких методів.
В этой статье предлагается информация о методе отличной фазы и метод с автоматической фокусировкой, которые используются на лазере отличной фазы, кто рассматривает профилограф-профилометр (ДЕДАЛ ЛСПП) и микроскоп "MICROSCAN" соответствующим образом.Также считается экспериментальным сравнения определения трехмерных микро- и наногеометричних поверхностных условий и стандартизированны епараметры грубости поверхности с помощью таких методов.
In this work you can find information about differential-phase method and method of autofocusing, which are used on differential-phase laser scanning profilograph-profilometer (DFLSPP) and microscope "MICROSCAN" correspondently. Also is considered experimental comparison of defining of 3D micro- and nano-geometrical surface conditions and standardized roughness parameters of surface with the help of those methods.
