|
-
Ключові слова:
обладнання, оборудование, equipment ; автоматизація, автоматизация, automation, automatization ; мікроелектроніка, микроэлектроника
-
Анотація:
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделирования и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Автоматизированные системы управления технологическими процессами (АСУ ТП)
-
ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка
|
