-
Ключові слова:
приладобудування, приборостроение, instrument engineering ; прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; з'єднання, соединение, joint, connection ; технологія приладобудування, технология приборостроения ; технологія матеріалу, технология материала
-
Анотація:
Посвящена новому методу в технологии полупроводниковых приборов и материалов - жидкостной эпитаксии. Рассмотрены различные варианты метода, физико-химические основы процесса и его аппаратурное оформление. Приведены экспериментальные данные по применению этого метода в технологии полупроводниковых материалов и приборов. Рассмотрены свойства различных полупроводниковых приборов - лазеров, светодиодов, туннельных диодов, фотоэлементов и др., полученных методом жидкостной эпитаксии. Для инженеров и научных работников, занимающихся технологией полупроводниковых приборов и материалов, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Технология производства полупроводниковых приборов. Производство полупроводниковых фотоэлектрических приборов
|