мікросхема, микросхема ; моделювання, моделирование, modelling ; прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; Техніка, с.г., медицина

В монографии применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположениях пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье - Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема. Для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники, а также для инженерно-технических работников, специализирующихся в области технологии приборостроения.

• ББК науковий // Інтегральні мікросхеми
• ББК науковий // Технология производства полупроводниковых приборов. Производство полупроводниковых фотоэлектрических приборов