З844 Э455 Быдин, Ю. Ф.     Электронно-ионные методы субмикронной технологии (по данным отечественной и зарубежной печати) [Текст] / Ю.Ф. Быдин, О.Г. Вендик, С.А. Иванов. — Москва : Электроника, 1985. — 40 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету	1	Перейти на сайт