Рассмотрены принципы построения систем очувствления и особенности применения адаптивных промышленных роботов в микроэлектронике. Приведены сведения по датчикам внешней информации и примеры реализации промышленных роботов.
Для инженерно-технических работников, связанных с разработкой и применением адаптивных роботов.
