електроніка, электроника, electronics ; електроніка напівпровідникова, электроника полупроводниковая
В работе предложен и исследован интегральный датчик, созданный по микроэлектронной технологии, который содержит тонкопленочные датчики влажности, температуры и нагревательный элемент. Новизна заключается в создании новых высокочувствительных материлов - металлооксидных полупроводников на основе ZnO, BaO, LiCL, GeO и CeO2, реагирующих на изменение влажности. Разработанный датчик изменяет емкость от 20 до 400 пФ в диапозоне относительной влажности 10... 90%.
