Настоящее учебное пособие содержит изложение основных физических явлений и закономерностей, лежащих в основе технологических процессов, используемых в производстве современных электронных приборов. Изложение материала построено таким образом, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления путем изучения основных физических, химических и электрохимических закономерностей, как правило, без обращения к другой литературе. С этой целью рассмотрение большинства вопросов начинается с обсуждения исходных математических соотношений с последующей интерпретацией их физического содержания. Для углубленного изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы.
