|
| З844 | | А432 | Активируемые процессы технологии микроэлектроники [Текст] : межвузовский тематический научный сборник / Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Таганрогский радиотехнический институт. — Таганрог : б.и., 1979. — 62 с. : ил. | |
| | |
|
