схема інтегральна, схема интегральная ; прилад електронний, прибор электронный
Рассматриваются различные методы и средства измерения линейных размеров, толщин и глубин топологических элементов интегральных микросхем с позиций их применимости для неразрушающего и оперативного контроля в процессе производства. Указаны пути совершенствования и оценены предельные возможности каждого из методов.
Приводятся рекомендации по выбору структурных схем и алгоритмов для решения задач автоматизации процесса измерения.
Для инженерно-технических работников.
