В книге освещены проблемы фотолитографиии оценены песпективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезистов, процессы образования фоторезистивных покрытий, способы получения фотошаблонов, процессы воспроизведения изображений элементов микросхем на фоторезисте и на подложке, контактная и проекционная фотолитография, применение голографических методов в фотографии, электролитография. Рассмотрены применение фотолитографии при изготовлении интегральных микросхем по тонкопленочной технологии.
