Техника получения тонких пленок нашла широкое распространение в микроэлектронике. Для изготовления пленочных микросхем разработана серия вакуумного оборудования, позволяющего проводить разообразные технологические процессы. Цель настоящего издания - ознакомить специалистов в области микроэлектроники с этим оборудованием и его основными характеристиками.
