апаратура радіоелектронна, РЕА, аппаратура радиоэлектронная, РЭА, radio elektronic equipment ; мікроелектроніка, микроэлектроника

Рассматриваются основные направления обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры (МЭА) на этапах их разработки и изготовления. Основное внимание уделяется разработке и использованию тестовых схем, предназначенных для контроля качества разработанных конструкций ИС и технологического процесса (ТП) их изготовления. Обобщен опыт разработки и использования автоматизированных систем контроля, анализа и управления ТП изготовления изделий МЭА.

Для инженерно-технических работников, специализирующихся в области технологии пленочных и полупроводниковых интегральных схем.

• ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка