Зведений каталог бібліотек Києва

 

З844
Г462Гиваргизов, Евгений
    Искуственная эпитаксия-перспективная технология элементной базы микроэлектроники [Текст] / с пред.: Веихова Е. П. — Москва : Наука,Гл.ред.физ.-мат.лит., 1988. — 176 с. : ил.


- Анотація:

Изложены основы нового направления в кристаллизации пленок - искусственной эпитаксии, позволяющей выращивать монокристалллические пленки на аморфных подложках. Рассмотрено применение искусственной эпитаксии и родственных подходов для изготовления радиационно стойких и сверхскоростных интегральных схем, трехмерных интегральных схем, систем отображения информации, устройств функциональной электроники и др.

Для научно-технических работников, занимающихся разработкой элементной базы микроэлектроники и вычислительной техники, а также аспирантов и студентов, специализирующихся в этой области.

- Теми документа

  • ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка
  • ББК науковий // Тонкі шари твердих тіл



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету 2 Перейти на сайт