Рассматриваются принципы действия и конструкции магнетронных распылительных систем, их рабочие характеристики, принципы конструирования и расчета, а также применение магнетронных распылительных систем в полупроводниковых производстве и ряде других областей, в которых используется пленочные покрытия. Описывается получение с помощью магнетронных распылительных систем проводящих резистивных, сверхпроводящих, магнитных, диэлектрических, оптических и других пленок.
