мікросхема, микросхема ; мікросхема інтегральна, микросхема интегральная ; схема інтегральна, схема интегральная
В монографии рассмотрены принципы работы, схемные и конструктивные особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем, высокие технико-экономические параметры которые обеспечиваются уменьшением их элементов до субмикронных размеров. Раскрыты механизмы влияния минимальных геометрических размеров элементов приборов на характеристики кремниевых интегральных микросхем и приборов на арсениде галлия, на свойства акустоэлектронных, оптоэлектронных структур, устройств на цилиндрических магнитных доменах, переходах Джозефсона.
Предназначена для научных и инженерно-технических работников, преподаателей, аспирантов, студентов.