В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Значительное внимание уделено ионноплазменному распылителю, как способу получения тонкопленночных микросхем.
Вопросы технологии освещаются с позиции физико-химических процессов, протекающих при изготовлении микросхем.
