В книге детально рассмотрен катодный метод плучения пленок, описаны его разновидности, дан краткий анализ промышленной аппаратуры для получения пленочных элементов. Рассмотрены основные свойства тонких пленок и пленочных элементов микросхем, полученных катодными методами, показана перспектива их развития.
Книга рассчитана на широкий круг научно-технических работников, занимающихся физико-технологическими вопросами микроэлектроники.
