М
Г944	Гуляев, Юрий     Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии. [Текст] : по данным отечественной и зарубежной печати за ... / Юрий Гуляев, Равиль Яфаров. — Москва : Электроника, 1989. — 52 с.