|
-
Ключові слова:
мікросхемотехніка, микросхемотехника, microcircuitry ; мікроелектроніка, микроэлектроника
-
Анотація:
Изложены особенности обработки монокристаллов имеющих наиболее широкое применение в микроэлектронике.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка
-
ББК науковий // Технология производства полупроводниковых радиотехнических материалов и изделий
|
