|
| З844 | | И755 | Козейкин, Б. В.
Ионно- имплантационная обработка металических слоев в технологии гибридно- интегральных схем [Текст] : по даным отечественной и зарубежной печати за ... / Б.В. Козейкин, В.В. Перинский, А.И. Фролов. — Москва : ЦНИИ"Электроника", 1989. — 68 с. | |
| | |
|
