|
-
Ключові слова:
виробництво, производство, production ; прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; схема інтегральна, схема интегральная ; технологія виробництва, технология производства
-
Анотація:
Рассматривается комплекс вопросов, связанных с влиянием различных загрязнений на качество кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем при производстве их по эпитаксиально-планарной технологии. Изложены требования к условиям производства и технологическим средам. Подробно описаны способы обеспечения и контроля чистоты технологических сред и поверхностей изделий при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Для работников, связанных с производством полупроводниковых приборов и интегральных схем.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Інтегральні мікросхеми
-
ББК науковий // Технология производства полупроводниковых приборов. Производство полупроводниковых фотоэлектрических приборов
|
