|
-
Ключові слова:
прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; матеріал напівпровідниковий, материал полупроводниковый, semiconducting material ; метод дослідження, метод исследования
-
Анотація:
В книге описывается методика ренгеноспектрального микроанализа полупроводниковых материалов. Рассмотрены применения отраженных и вторичных электронов, катодолюминесценции, тока индуцированного электронными зондом для исследования полупроводниковых приборов.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Напівпровідникові прилади
-
ББК науковий // Напівпроводникові матеріали та вироби
|
