|
-
Ключові слова:
прилад напівпровідниковий, прибор полупроводниковый ; технологія вакуумна, технология вакуумная ; технологія машинобудування, технология машиностроения
-
Анотація:
Дана классификация машин электровакуумного и полупроводникового производства. Уделено внимание вопросам проектирования технологических процессов и методам обработки деталей машин и установок для получения поверхностей высокого качества. Рассмотрены вопросы технологичности деталей и узлов машин, комплексной технологии изготовления типовых деталей полупроводниковых и электровакуумных машини установок, вакуумной и газовой аппаратуры, технологии обработки изделий из пластмасс, оргстекла и керамики. Для студентов вузов по специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение", а также для инженерно-технических работников электронного машиностроения.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Електроніка
|
