|
-
Ключові слова:
матеріал напівпровідниковий, материал полупроводниковый, semiconducting material ; пластичність, пластичность, plasticity
-
Анотація:
Дан обзор методов исследования пластичности и прочности многокристаллических полупроводников, показана связь этих параметров с кристалической структурой и свойствами дислокаций, а также с процессами изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
-
Теми документа
-
ББК науковий // Напівпроводникові матеріали та вироби
|
