електроніка, электроника, electronics ; електроніка фізична, электроника физическая
В книге изложены основы технологии производства электронных приборов: рассмотрены процессы очистки исходных материалов и готовых структур, формообразования и обработки поверхности элементов ЭП, получения композиционных, монолитных и монокристаллических покрытий, формирования физико-химических и электрофизических свойств материалов ЭП, а также методы локальной микрообработки и создания межсоединений; технологические схемы изготовления дискретных электровакуумных, полупроводниковых приборов и интегральных микросхем и основные направления развития технологии.
Предназначается для студентов специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение". Может быть полезна специалистам, занимающимся вопросами разработки технологии и конструированием электронных приборов.
