В монографии рассматриваются методы моделирования, анализа и принятия конструктивно-технологических решений на ЭВМ, обеспечивающие функционально-технологическую воспроизводимость ИМС. Особое внимание уделено обсуждению таких вопросов, как анализ конструктивных решений по теплоэлектрической совместимости элементов и компонентов, назначение допусков на параметры схемы и параметры технологического процесса, технологическое проектирование интегральных микросхем. Разработана объединенная физико-технологическая модель элементов интегральных микросхем.
Для инженеров и научных работников, специализирующихся в области автоматизации проектирования и производства МЭА, а также для аспирантов и студентов соответствующего профиля.
