В книге рассматриваются возможности практического использования в радиоэлектронике неорганических пленок, получаемых изложением элементоорганических соединений (ЭОС). Основное внимание уделяется анализу возможностей создания активных и пассивных элементов микросхем на основе пленок из ЭОС, а также решению некоторых специальных задач методами пиролитической технологии.
Книга предназначена для широкого круга специалистов, занимающихся изучением физических и технологических вопросов пленочной электроники, и может оказаться полезной для работников смежных отраслей науки и техники, связанных с проблемами нанесения неорганических пленочных покрытий.
