мікросхемотехніка, микросхемотехника, microcircuitry ; мікроелектроніка, микроэлектроника

Представлены материалы по результатам теоретических и экспериментальных иследований различных аспектов комплексной микроминиатюризации радиоэлектронной и электронно-вычислительной радиоаппаратуры. Рассмотрены общие вопросы проектирования специализированных микросборок на основе бескорпусных интегральных схем, линий передачи СВЧ ИС, свойства устройств и блоков СВЧ, коммутируемых фильтров, вопросы технологии (обеспечения равномерности нанесения пленок и химической обработки при оформлении контуров) пленочных элементов.

• ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка