621.38
Д18	Данилин, Б. С.     Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1984гг.) [Текст] : обзор по электрон. технике / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. — М. : ЦНИИ "Электроника", 1984. — 55с.