621.383     Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике [Текст]. — Л. : Наука, 1972. — 114 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека національного лісотехнічного університету України	1	Перейти на сайт