621.382(075.8)
Е91	Ефимов, И. Е.     Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность [Текст] : учеб. пособие для вузов / И.Е. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов. — 2-е изд., перераб. и доп. — М. : Высшая школа, 1986. — 464 с.