548.4 Л278 2 Латышенко, Владимир     Растровая электронная микроскопия дефектов в кремнии [Текст] / Владимир Латышенко, Валерий Шаховцов, Эдуард Шейхет. — Киев : Изд-во ИФ, 1986. — 26 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт