621.382
М338 3	Матвийкив, Олег     Разработка моделей и методов газофазного осаждения в узлах сложной формы для технологических САПР РЭС [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т. — СПб., 1995. — 232 с.