621.382.002
Т363 3	Теслюк, Василь     Моделювання та аналіз процесів формування технологічних шарів ІС в приладотехнологічних САПР [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / Держ. ун-т "Львів. політехніка". — Л., 1995. — 229 с. + дод. (15 с.).