Зведений каталог бібліотек Львова
621.382.8М3573Кеньо, Галина Прогнозування та контроль параметрів і характеристик приладів на основі структур "кремній-на-ізоляторі" [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Держ. ун-т "Львів. політехніка". — Л., 1995. — 139 с.
- Теми документа