621.382.8 А432 2     Активируемые процессы технологии микроэлектроники [Текст] : междувед. темат. науч. сб. / Тагнрог. радиотехн. ин-т ; редкол.: Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др. — Таганрог : ТРТИ, 1986. — 148 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт